光刻工藝是利用一類感光性樹(shù)脂材料作為抗蝕涂層。這類感光樹(shù)脂材料在光照(主要是紫外光)時(shí)，短時(shí)間內(nèi)即能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，使得這類材料的溶解性、熔融性或親和性在曝光后發(fā)生明顯的變化，利用這些性能在曝光前后發(fā)生的明顯差別，只要控制光照的區(qū)域就可得到所需幾何圖形的保護(hù)層。
這種作為抗蝕劑涂層用的感光樹(shù)脂材料稱為光刻膠黏劑或光致抗蝕劑。
光刻膠黏劑設(shè)計(jì)
2013-11-05 23:16:30 作者： 來(lái)源： 評(píng)論：0 點(diǎn)擊：
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